抛光液对抛光工艺的影响

1.温度：温度的升高增强了抛光液的化学反应能力，提高了抛光速率。但是温度太高会引起抛光液体的挥发和化学反应的加速将导致严重的表面腐蚀，这将产生不均匀的抛光效果并降低抛光质量下降。

2.pH值：抛光液的pH值越高，碱度越强，反应速度越快。 但是，pH值是溶液和溶解度以及抛光液的稳定性有很大的影响，影响材料的去除率和表面质量，因此应严格控制。

3.压力：通常，压力越高，抛光速度越快。 然而，当压力足够高时，抛光速率将略微降低。由于高压，抛光垫承载抛光液的能力降低。 另外，大压力容易形成碎片。

4.旋转速度：旋转速度的增加会导致抛光速率的增加。 但是，如果转速过高，则抛光液会不均匀地分布在抛光垫上均匀地影响抛光质量。

5.抛光液浓度：当抛光液浓度增加时，去除率也增加，但是当磨粒浓度超过一定值时，材料去除率将停止增加并保持恒定值。 这种现象称为去除饱和。 浓度过高可能会导致表面缺陷（划痕）增加，影响表面质量。